LMBE法异质外延β-Ga2O3薄膜及其紫外和发光特性的研究

• 作者: 侯娟 刘枚 刘爱华 姜守振 孔德敏 满宝元 郭进进
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: β-Ga2O3薄膜 氧分压 紫外透射 光致发光 禁带宽度
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 52-54,58
• 分类号: TN304
• 字数: 2124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.12.016

摘要

采用激光分子束外延法在蓝宝石衬底上异质外延β-Ga2O3薄膜.研究了氧分压对薄膜表面结构和结晶程度的影响,结果表明β-Ga2O3薄膜的均方根粗糙度和X射线衍射谱峰的半高宽随着氧分压的减小呈现先减小后增大的趋势.并对氧分压为10-2Pa条件下的薄膜进行了光致发光谱、紫外透射谱、禁带宽度变化和拉曼谱的研究,结果显示β-Ga2O3薄膜的带隙随氧分压的减小而不断增大,β-Ga2O3薄膜具有蓝光发光和深紫外高透射特性,是用于光电器件特别是紫外特性氧敏传感器的最佳材料之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	满宝元	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	34	269	8.0	15.0
2	刘爱华	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	19	151	7.0	11.0
3	郭进进	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	4	22	3.0	4.0
4	侯娟	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	4	22	3.0	4.0
5	姜守振	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	9	39	3.0	6.0
6	孔德敏	山东师范大学物理与电子科学学院	2	10	2.0	2.0
7	刘枚	山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所	1	8	1.0	1.0