射频磁控溅射制备钛酸锶钡薄膜的研究进展

• 作者: 刘行冰 宋云霞 林泽彬 符春林 蔡苇
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 钛酸锶钡 综述 射频磁控溅射 介电性能
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 71-75
• 分类号: TM283
• 字数: 2404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.05.020

摘要

综述了射频磁控溅射制备钛酸锶钡(BST)薄膜的国内外研究动态,详细阐述了溅射工艺参数(电极、溅射气压、氧分压、温度)对BST薄膜微结构和电性能的影响,提出了射频磁控溅射制备BST薄膜中亟待解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡苇	重庆科技学院冶金与材料工程学院	80	471	12.0	17.0
2	符春林	重庆科技学院冶金与材料工程学院	77	351	10.0	15.0
3	林泽彬	重庆科技学院冶金与材料工程学院	3	22	3.0	3.0
4	刘行冰	重庆科技学院冶金与材料工程学院	5	14	3.0	3.0
5	宋云霞	重庆科技学院冶金与材料工程学院	3	5	1.0	2.0