针对不同类型热敏MEMS器件的高性能前置放大器设计

• 作者: 何鑫 孟如男 宋冬雪 王玮冰 薛晨阳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 热敏MEMS器件 前置放大器 CMOS
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 75-78,82
• 页数: 5页
• 分类号: TN492
• 字数: 2699字
• 语种: 中文

摘要

针对不同应用的热敏MEMS器件的界面电路设计高性能放大器,提出建立与CMOS工艺兼容的热敏MEMS器件前置放大器的IP库的概念.通过提取相关热敏器件的典型参数,设计低功耗、低噪声且分别符合精度和速度等特殊要求的前置放大器,对3种不同结构的放大器进行分析研究,并利用Cadence 软件,基于CSMC 0.5 μm标准CMOS工艺库进行设计仿真.仿真结果表明:3种不同结构的放大器可以用于相应性能要求的热敏MEMS器件中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛晨阳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
2	王玮冰	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	15	46	4.0	5.0
3	何鑫	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	7	17	2.0	4.0
4	宋冬雪	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0
5	孟如男	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	1	2	1.0	1.0