非晶La2O3薄膜的阻变存储性能研究

• 作者: 屠海令 张心强 杜军 赵鸿滨
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化镧 电阻转变 非易失性 脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 574-577
• 分类号: TN386.1
• 字数: 2088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2012.04.012

摘要

采用脉冲激光技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积了非晶La2O3薄膜,制作并分析了Pt/La2 O3/Pt堆栈层的直流电压与脉冲电压诱导的电阻转变特性.Pt/La2O3/Pt器件单元表现出了稳定的双极性电阻转变,其高低阻态比大于两个数量级.经过大于1.8×106s的读电压,高低阻态的电阻值没有明显的变化,表现出了良好的数据保持能力.通过研究高低阻态的电流电压关系、电阻值与器件面积的关系,揭示了导电细丝的形成和破灭机制是导致Pt/La2O3/Pt器件发生电阻转变现象的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜军		75	496	13.0	17.0
2	屠海令		42	224	8.0	12.0
3	赵鸿滨		11	58	4.0	7.0
4	张心强		7	21	2.0	4.0