非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定

• 作者: 冯明德 张海防 李均盛 杨百遇 范琦 莫卫东 贾晋超
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面检测 最佳入射球面波 最佳参考球面波 干涉条纹
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测试
• 页码范围: 263-269
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.65|O436.1
• 字数: 4295字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2012.03.011

摘要

为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分析入射球面波与非球面反射波干涉条纹密度,确定最佳入射球面波的波源位置;通过计算分析在干涉图记录平面CCD上干涉条纹的密度,确定非球面检测时参考球面波波源的最佳位置。应用该理论与方法,不仅可明确非球面检测时CCD等光路元件选型的具体策略,而且可用于指导非球面检测调试过程,并能够通过对干涉图的深入分析,获得更多被测非球面的信息。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李均盛	空军工程大学理学院	11	39	5.0	6.0
2	莫卫东	空军工程大学理学院	23	175	7.0	13.0
3	冯明德	空军工程大学理学院	19	37	4.0	5.0
4	范琦	空军工程大学理学院	29	140	6.0	10.0
5	贾晋超	空军工程大学理学院	4	10	2.0	3.0
6	张海防	空军工程大学理学院	6	17	3.0	4.0
7	杨百遇	空军工程大学理学院	1	5	1.0	1.0