扩散连接制备微流道化学机械系统研究

• 作者: 孙福 张赋升 李京龙 熊江涛 赵科
• 来源期刊: 电焊机
• 关键词: 微化学机械系统(MCMS) 扩散连接 微通道
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 焊接设备
• 页码范围: 22-24
• 分类号: TG453.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2303.2012.07.005

摘要

在采用扩散连接的方法制备具有微型流道结构的化学机械系统时,流道部分因焊接压力无法直接传递,往往形成未焊合造成泄漏.采用一个简单的线性弹性模型对不同宽度和厚度的流道处的接触压力进行了有限元模拟,并结合流道处的金相照片对其连接状态进行分析.结果表明:要实现层板间的有效连接,层板间各处的接触压力应不小于1 MPa；流道所允许的宽度是有限的,并且随着流道厚度的增加而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李京龙	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	116	845	15.0	22.0
5	张赋升	西北工业大学陕西省摩擦焊接重点实验室	63	526	13.0	19.0
6	熊江涛	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	64	603	14.0	22.0
10	赵科	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	1	1	1.0	1.0