应用于微型PCR芯片的微加热器特性研究

• 作者: 刘泽文 吴次南 张普 王俊强 郭藏燃
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型PCR芯片 微机电系统 微加热器 Pt薄膜 对流
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 新型半导体器件
• 页码范围: 442-447
• 分类号: TP273
• 字数: 4092字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.06.007

摘要

设计制作了一种应用于微型聚合酶链式反应(PCH)芯片的微加热器.然后按照PCR循环温度的要求,利用该加热器进行了PCR温度实验.微加热器采用与MEMS工艺兼容的溅射方法在Si基上制作,微加热器材料为金属Pt.通过控制施加电压大小及时间,进行了变性温度、退火温度和延伸温度实验.结果表明:在25 V和32 V电压控制下的温升速度分别为0.68℃/s和1.23℃/s.在断电自然冷却下的降温速度均达到1℃/s.在一个PCR循环周期中每个反应仓的平均功耗为50 mW,最大功耗80 mW,整个10 mm×10 mm芯片的最大功耗为0.96 W.完成第一次PCR温度循环需要220 s,之后的每次循环仅需要175 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴次南	贵州大学理学院	43	115	7.0	8.0
2	张普	贵州大学理学院	2	10	2.0	2.0
3	王俊强	贵州大学理学院	2	10	2.0	2.0
4	刘泽文	清华大学微电子学研究所	50	169	7.0	10.0
5	郭藏燃	清华大学微电子学研究所	1	3	1.0	1.0