隐埋电感工艺的开发与研究

• 作者: 严惠娟 吴金华 罗永红 陈培峰
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 隐埋电感 三维螺旋电感 电感值 品质因素
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 微组装
• 页码范围: 21-25,30
• 分类号: TN41
• 字数: 3501字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2012.01.007

摘要

通过蚀刻铜箔结合导通孔连接的方法在四层PCB中制得了大小从120 nH到1 400 nH的三维螺旋隐埋电感,品质因数分别为6～31（测量频率为1 MHz）。所制得隐埋电感既包括垂直轴线,也包括水平轴线三维螺旋隐埋电感线圈;既包括平面螺旋电感和三维螺旋线圈,又包括两者的复合。另外通过对比研究不同物理参数对垂直轴线三维隐埋电感的影响,结果发现在相同周长的情况下,圆形电感略优于方形电感;电感大小和线圈的面积及圈数成正比,与线圈间距成反比;品质因数随着线圈的面积、圈数和线圈间距的变化而略有变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴金华		4	10	2.0	3.0
2	严惠娟		4	12	2.0	3.0
3	罗永红		4	6	1.0	2.0
4	陈培峰		3	6	1.0	2.0