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表面Ge沟道pMOSFET阈值电压模型
表面Ge沟道pMOSFET阈值电压模型
作者:
付毅初
张鹤鸣
戴显英
李志
查冬
王晓晨
王琳
郝跃
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
阈值电压模型
Ge沟道pMOSFET
漏致势垒降低效应
短沟道效应
摘要:
基于MOS器件的短沟道效应和满致势垒降低效应理论,通过求解泊松方程,建立了表面Ge沟道pMOSFET的阈值电压模型.基于该模型对表面Ge沟道MOSFET器件的沟道长度、栅氧化层厚度、衬底掺杂浓度、SiGe虚拟衬底中的Ge含量等结构参数以及漏源电压对阈值电压的影响进行了模型模拟分析.模拟结果表明,当沟道长度小于200nm时,短沟道效应和漏致势垒降低效应对阈值电压影响较大,而当沟道长度超过500nm时,短沟道效应和漏致势垒降低效应对阈值电压的影响可以忽略.模型计算结果与实验结果吻合较好.
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应变SiGe SOI量子阱沟道PMOSFET阈值电压模型研究
应变SiGe
SOI MOSFET
阈值电压
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文献信息
篇名
表面Ge沟道pMOSFET阈值电压模型
来源期刊
西安电子科技大学学报(自然科学版)
学科
数学
关键词
阈值电压模型
Ge沟道pMOSFET
漏致势垒降低效应
短沟道效应
年,卷(期)
2012,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
94-97,113
页数
5页
分类号
O141.4
字数
3319字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1001-2400.2012.04.017
五维指标
传播情况
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阈值电压模型
Ge沟道pMOSFET
漏致势垒降低效应
短沟道效应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西安电子科技大学学报(自然科学版)
主办单位:
西安电子科技大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1001-2400
CN:
61-1076/TN
开本:
出版地:
西安市太白南路2号349信箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
4652
总下载数(次)
5
总被引数(次)
38780
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