改进的RF-LDMOS小信号模型参数提取方法

• 作者: 姜一波 李科 杜寰 王帅 陈蕾 韩郑生 龚鸿雁
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: LDMOS 小信号模型 去嵌入 参数提取 曲线拟合
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与测试技术
• 页码范围: 159-163
• 分类号: TN386
• 字数: 2214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.02.016

摘要

准确地提取RF-LDMOS小信号模型参数对LDMOS大信号模型建模十分重要,而且好的小信号模型能很好地反映微波器件的性能.针对LDMOS提出了一种改进的小信号模型参数提取方法,此方法增加了测试结构的建模和参数提取,极大地方便了S参数曲线的拟合,而且对于测试版图的研究有一定的指导意义.由此方法提取的小信号模型与实验测试数据在0.1～8 GHz拟合的很好,并且准确地预测了器件的特征频率.该模型和方法能够很好的适用于LDMOS的L,S波段小信号建模和参数提取.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩郑生	中国科学院微电子研究所	122	412	10.0	12.0
2	杜寰	中国科学院微电子研究所	41	108	5.0	6.0
3	陈蕾	中国科学院微电子研究所	29	178	8.0	12.0
4	李科	中国科学院微电子研究所	30	649	7.0	25.0
5	王帅	中国科学院微电子研究所	133	716	13.0	21.0
6	姜一波	中国科学院微电子研究所	5	9	3.0	3.0
7	龚鸿雁	中国科学院微电子研究所	2	6	2.0	2.0