流化床技术制备粒状多晶硅的研究进展

• 作者: 侯俊峰 武在军 毕明峰 王耀挺
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 粒状多晶硅 制备 性能 流化床
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 产品
• 页码范围: 24-27
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3038字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2012.04.008

摘要

概述流化床技术制备粒状多晶硅的研究进展,简介粒状多晶硅的生长机制和物理性能,阐述流化床技术在多晶硅生产领域的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯俊峰		2	5	1.0	2.0
5	武在军		3	10	2.0	3.0
6	王耀挺		2	5	1.0	2.0
7	毕明峰		2	5	1.0	2.0