典型MEMS器件结构优化设计平台

• 作者: 卢德林 善盈盈
• 来源期刊: 轻工机械
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS器件 柔性模块 设计平台 结构优化
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 新设备·新材料·新方法
• 页码范围: 88-91,96
• 分类号: TP212
• 字数: 3940字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2895.2012.03.024

摘要

设计一种适用于典型MEMS器件结构优化设计的通用平台系统MEMS Platform(简称MP).该平台采用了柔性模块的设计理念,将整个优化设计过程分解成参数化建模、性能仿真、优化前后处理、优化算法选择与设计、优化结果输出等5个独立功能单元,解决了典型MEMS器件结构设计中经常出现的实际性能失真、优化计算过程复杂、计算量大等问题,具有较好的实际应用及再开发价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	善盈盈	浙江机电职业技术学院机械工程系	7	23	3.0	4.0
2	卢德林		9	46	4.0	6.0