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摘要:
设计一种适用于典型MEMS器件结构优化设计的通用平台系统MEMS Platform(简称MP).该平台采用了柔性模块的设计理念,将整个优化设计过程分解成参数化建模、性能仿真、优化前后处理、优化算法选择与设计、优化结果输出等5个独立功能单元,解决了典型MEMS器件结构设计中经常出现的实际性能失真、优化计算过程复杂、计算量大等问题,具有较好的实际应用及再开发价值.
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文献信息
篇名 典型MEMS器件结构优化设计平台
来源期刊 轻工机械 学科 工学
关键词 MEMS器件 柔性模块 设计平台 结构优化
年,卷(期) 2012,(3) 所属期刊栏目 新设备·新材料·新方法
研究方向 页码范围 88-91,96
页数 分类号 TP212
字数 3940字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1005-2895.2012.03.024
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 善盈盈 浙江机电职业技术学院机械工程系 7 23 3.0 4.0
2 卢德林 9 46 4.0 6.0
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引文网络
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2020(1)
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS器件
柔性模块
设计平台
结构优化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
轻工机械
双月刊
1005-2895
33-1180/TH
大16开
杭州市余杭区高教路970号西溪联合科技广场4号楼711号
32-39
1983
chi
出版文献量(篇)
3690
总下载数(次)
10
总被引数(次)
15563
论文1v1指导