基于聚偏氟乙烯的扫描探针显微镜系统

• 作者: 张昔峰 盛秀丽 魏晋鹏 黄强先
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: PVDF振动梁 钨探针 定位控制 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2012,（23）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2839-2843
• 页数: 5页
• 分类号: TH71|TH89
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2012.23.014

摘要

采用聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜和压电陶瓷(PZT),并结合由电化学研磨得到的钨探针,研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头.在该测头中,PVDF压电薄膜作为振动梁,其下方中间位置固定有钨探针,在PZT的驱动下,PVDF和探针处于谐振振动状态,同时,PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力.所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统.介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三维工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试,并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描,证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盛秀丽		2	0	0.0	0.0
2	黄强先		46	319	9.0	15.0
3	魏晋鹏		3	1	1.0	1.0
4	张昔峰		2	21	1.0	2.0