高速InP基半导体电光调制器行波电极结构研究

• 作者: 孙长征 熊兵 罗毅 郭丽丽
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 电光调制器 行波电极 阻抗匹配 微波损耗
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 791-794
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

对PIN型和NIN型两种InP基Mach-Zehnder电光调制器的电极结构进行了数值仿真研究,从而确定出适于这两种电光调制器的行波电极结构。仿真结果表明,NIN型电光调制器可采用简单的单臂类微带电极,而PIN型电光调制器需采用周期容性负载电极,以达到良好的阻抗匹配特性和传输特性。进一步地,提出了将串联推挽式行波电极结构应用于PIN型电光调制器,可以简化制作工艺并获得良好的微波特性。