自支撑金属超薄膜厚度的测量技术

• 作者: 朱小平 杜华 王蔚晨
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 自支撑薄膜 光谱共焦 薄膜厚度
• 年，卷（期）: 2012,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.z1.05

摘要

介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统,通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验,以及测量结果不确定度的分析,验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性,在300 μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99％,满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱小平		29	142	6.0	11.0
2	杜华		33	201	8.0	12.0
3	王蔚晨		17	98	5.0	9.0