纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性

• 作者: 姚宁 张兵临 张永强 袁泽明
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米非晶碳 场致电子发射 FeCl3 微波等离子增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 页码范围: 1768-1771
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2431字
• 语种: 中文

摘要

采用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在涂有FeCl3的硅衬底上制备出了纳米非晶碳薄膜.通 过SEM、XRD和拉曼光谱分析了薄膜材料的形貌和结构.并研究了薄膜材料的场发射特性.结果表明:薄膜的开启电场仅为0.39 V/μm;当电场强度为1.85 V/μm时,电流密度高达3.06 mA/cm2；且场发射点均匀、密集、稳定.迭代法计算表明薄膜材料的功函数为3.1 eV,发射点密度约为1.7×105个/cm2.这些均表明该薄膜是一种性能优良的场发射阴极材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	张永强	河南财经政法大学计算机与信息工程学院	28	85	6.0	8.0
4	袁泽明	河南财经政法大学计算机与信息工程学院	9	12	2.0	3.0