分子蒸馏结合电喷雾质谱技术研究硅片切割液

• 作者: 周永生 王平 顾浩
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 分子蒸馏 电喷雾质谱 硅片切割液 聚乙二醇加合离子
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 页码范围: 1747-1750
• 页数: 4页
• 分类号: N34
• 字数: 2668字
• 语种: 中文

摘要

采用分子蒸馏技术对010型切割液进行分离,对分子蒸馏温度进行优化.当温度为80℃,刮板转速为300r/min,加料速率2mL/min,系统绝压20Pa时,分子蒸馏分离效果最佳.采用电喷雾质谱直接进样技术分析切割液各馏分,在正离子模式下,各组分可形成质子化分子或[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+等加合离子.以甲醇(1.0×10 3mol/L)-乙酸铵(90∶10 v/v)(流动相Ⅰ)为流动相时,[M+H]+、[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+4种PEG加合离子相对丰度均增加,[M+NH4]+峰增加尤为明显.对80℃分子蒸馏轻、重组分和PEG200进行电喷雾质谱表征时,以甲醇-水(90∶10 v/v)(流动相Ⅱ)为流动相,而对PEG400表征时则采用流动相Ⅰ.实验发现,采用流动相 Ⅱ时轻组分与PEG200质谱分析结果类似,此时的重组分质谱结果与采用流动相Ⅰ时的PEG400类似.可推断,010#切割液主要成分为PEG200和PEG400,并含少量不挥发铵盐.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周永生	常州大学石油化工学院	42	171	7.0	11.0
2	王平		3	4	1.0	2.0
3	顾浩	常州大学石油化工学院	28	42	3.0	4.0