电子化学品领域标准化工作动态

• 作者: 付雪涛 冯亚彬 王香 裴会川
• 来源期刊: 信息技术与标准化
• 关键词: 电子化学品 标准化 SEMI IEC/TC91 SAC/TC203 SAC/TC47
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 电子化学品管控和标准化专题
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 字数: 3961字
• 语种: 中文

摘要

介绍了电子化学品领域技术和产品的分类,重点阐述SEMI、IEC/TC91、SAC/TC203、SAC/TC47四个标准化组织在电子化学品领域的标准化工作情况,并提出完善标准体系、搭建标准符合性检测平台、从源头控制有害化学物质等我国电子化学品领域标准化工作重点

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付雪涛	全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组	4	4	1.0	2.0
2	裴会川	全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组	3	1	1.0	1.0
3	王香	全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组	2	1	1.0	1.0
4	冯亚彬	全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组	2	1	1.0	1.0