e型电子束蒸发源的原理及维修

• 作者: 王秀海
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束 电子枪 束斑 故障现象 维修
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 半导体材料与设备
• 页码范围: 386-389
• 分类号: TN305
• 字数: 2300字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.05.013

摘要

电子束蒸发由于其显著的优点应用日趋广泛,成为工业镀膜工艺中最主要的技术之一.基于真空镀膜技术,首先对电子束蒸发的定义进行了阐述,介绍了电子束蒸发源的特点及优势,详细说明了e型电子束蒸发源的结构及工作原理.重点分析了电子枪灯丝与聚束极的相对位置对束斑及束流大小的影响.结合维修经验对e型电子束蒸发源的日常维护进行了总结,对更换电子枪灯丝步骤及注意事项进行了细致说明,着重提出了腔室及蒸发源的洁净度对工艺质量的影响.最后对于蒸发过程中常见故障现象及解决方法进行说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秀海	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	30	2.0	5.0