一种MEMS同振柱型仿生矢量水听器的研制

• 作者: 刘林仙 张国军 张慧 张文栋 葛晓洋 薛晨阳 许姣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 同振柱型 仿生 矢量水听器
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 448-452
• 分类号: TB565.1
• 字数: 3921字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.04.006

摘要

提出了一种结合MEMS技术、仿生原理和压阻原理的同振柱型矢量水听器,即由二维仿生水听器和声压水听器组合而成的柱体.在声学理论基础上详细介绍了该水听器的封装设计及制作过程,在国防水声一级计量站对该矢量水听器进行校准实验,实验结果表明:该同振型矢量水听器的工作频带范围为0～3 kHz;X通道灵敏度-177.9 dB(2 kHz),Y通道灵敏度-175.4 dB(2 kHz),声压通道灵敏度-175.8 dB(2 kHz)；具有很好的“8”字指向性；可承受3 MPa压力.此新型MEMS同振矢量水听器适用于民用船只避障,渔业捕捞,海洋勘探等领域.