轮廓形状测量系统的主要误差评定方法

• 作者: 康岩辉 张恒
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 轮廓形状测量 轮廓度 形位公差 误差评定
• 年，卷（期）: 2012,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TB921
• 字数: 2147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.z1.03

摘要

高精度轮廓形状测量系统广泛用于球面、非球面光学元件面形轮廓等的精密测量.为准确评定其主要误差来源,在阐述接触式轮廓形状测量系统原理和结构的基础上,以ISO测量不确定度表示指南为依据,研究了具有代表性的高精度轮廓形状测量系统的各项误差,详细分析了误差来源与大小.结果表明,在200 mm测量范围内 计算得到合成标准不确定度约为0.05μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张恒		12	33	4.0	5.0
2	康岩辉		11	27	4.0	4.0