一种负压驱动的蠕动微型泵设计

• 作者: 崔建国 王洪
• 来源期刊: 流体机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微型泵 微流体 负压驱动 蠕动
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 47-50,38
• 页数: 5页
• 分类号: TH137.51|TP271
• 字数: 3049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-0329.2012.12.011

摘要

微型泵作为集成微流体中不可或缺的元素,在过去20年间取得了很大的进展.基于真空负压驱动原理,研制了一种结构简单的蠕动式微型泵.微型泵由三层聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料构成(气路层,流路层,驱动薄膜层),并通过表面等离子体氧化处理技术实现了PDMS层之间的键合封装,其全部结构均采用激光器加工制作而成.蠕动驱动模式的关键在于利用气路周期性地传递负压力波,进而实现弹性薄膜的顺序变形,其中负压源通过电磁阀(EMV)进行通断控制.这种结构简化了常规蠕动泵模型中的复杂逻辑控制.实验结果表明在50kPa负压和30Hz驱动频率的条件下,获得的最佳流速为170 μL/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王洪		31	188	5.0	13.0
2	崔建国		29	107	6.0	8.0