SOI压力传感器的灵敏度优化设计

• 作者: 吴迪 宋祖殷 景涛 袁云华 谢贵久 金忠
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOI压力传感器 灵敏度 优化设计 有限元 敏感栅
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1064-1068
• 分类号: TP212
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.08.009

摘要

目前压阻式压力传感器灵敏度优化计算仅基于压阻条整体性几何分布,在相关参数的优化上存在局限性,且在模型及计算等方面有一定误差.本文提出一种专门用于SOI压力传感器,通过精确分析敏感栅的栅数、栅长以及其坐标分布的最佳组合参数,结合不同量程芯体膜厚的计算,达到传感器灵敏度优化的方法.基于Microsoft Visual C++平台以及有限元、数值分析等接口技术,采用参数化建模,有限元分析仿真,数值后处理,编制循环分析算法,设计SOI压力传感器灵敏度优化程序.通过实验数据验证优化设计与实际吻合较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴迪	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	43	4.0	6.0
2	景涛	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	12	2.0	3.0
3	谢贵久	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	48	4.0	6.0
4	金忠	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	8	2.0	2.0
5	袁云华		5	26	3.0	5.0
6	宋祖殷		8	28	3.0	5.0