计量型原子力显微镜的位移测量系统

• 作者: 卢明臻 施玉书 李伟 杜华 高思田
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 纳米计量 位移测量 多倍程干涉仪 非线性
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 796-802
• 分类号: TH742.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122004.0796

摘要

针对纳米结构表征和纳米制造的质量控制需要,中国计量科学研究院设计并搭建了一台计量型原子力显微镜用于纳米几何结构的测量.为了将位移精确溯源到国际单位米,研制了单频8倍程干涉仪测量位移,样品表面形貌则由接触式原子力显微镜测量.一个立方体反射镜与原子力显微镜的测头固定,作为干涉仪的参考镜.两个互相垂直的干涉仪用于测量样品与探针在x-y方向的相对位置.样品台置于具有三面反射镜的零膨胀玻璃块上,由压电陶瓷位移台驱动.另外两台干涉仪测量样品与探针在z方向的位移,探针针尖位于干涉仪光束的交点以减小Abbe误差.由于光学器件的缺陷产生的相位混合会引起非线性误差,采用谐波分离法拟合干涉信号来修正误差,修正后干涉仪测量误差减小为0.7 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	卢明臻		16	97	6.0	8.0
3	杜华		33	201	8.0	12.0
4	李伟		27	92	5.0	8.0
5	施玉书		35	121	5.0	8.0