电容式微机械陀螺接口电路噪声分析

• 作者: 苑伟政 蒋庆华 谢建兵
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 接口电路 噪声分析 微机械陀螺
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 25-28
• 分类号: TH7|V241.5
• 字数: 1833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2012.05.007

摘要

电容式微机械陀螺接口电路的噪声抑制特性直接影响了其关键性能指标,是微机械陀螺研究的重点.基于电荷放大器为前置放大电路的微机械陀螺接口电路为研究对象,建立了包含运放输入电容、输入电阻、噪声电流、噪声电压、反馈电阻噪声、寄生电容在内的电荷放大器电容分辨率的模型,提出了通过增大载波电压、选择低噪声电压和噪声电流运放、增大反馈电阻提高分辨率的方法.采用厚膜电路实现的电荷放大器进行了实验,结果表明电荷放大器的输出噪声和理论计算值处于同一数量级,电容分辨率可以到达10-19 F.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庆华		3	8	1.0	2.0