悬臂梁式硅纳米谐振器的量子压缩效应

• 作者: 张霞 闫社平
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米谐振器 悬臂梁 量子噪声 量子压缩 零点位置不确定度
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 760-765
• 分类号: TN752|TH824
• 字数: 2448字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/0PE.20122004.0760

摘要

分析了厚度分别为12 nm和38.5 nm的悬臂梁式硅纳米谐振器内由海森堡不确定原理所决定的零点位置不确定度,分析结果表明,零点位置不确定度与悬臂梁的厚度和宽度成反比、与悬臂梁的长度成正比,12 nm厚的悬臂梁其零点位置不确定度为4.1×10-3 nm.结合参量泵量子压缩技术,分析了不同厚度的悬臂梁式硅纳米谐振器的量子压缩系数与器件结构尺寸、温度、泵激电压之间的关系,结果显示,量子压缩系数与温度成正比、与泵激电压成反比.当温度为0.01 K、泵激电压为4V时,12 nm厚的悬臂梁式硅纳米谐振器的量子噪声降低了26.56 dB.该项研究有助于提高极薄悬臂梁式硅纳米谐振器在量子噪声影响下的极限检测精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张霞	西安邮电学院电子工程学院	20	46	3.0	6.0
2	闫社平		2	5	1.0	2.0