激光诱导等离子体加工石英微通道机理研究

• 作者: 张欣 李世雄 毛文雪 白忠臣 秦水介 黄政
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 微通道 雪崩电离 激光支持的爆轰波
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 346-353
• 分类号: TN405.982
• 语种: 中文

摘要

利用调Q的Nd：YAG激光器输出的纳秒激光脉冲诱导等离子体加工石英微通道,显微镜下观察微通道深度可达4 mm,通道周围没有发现热裂纹,围绕通道内壁产生了固化层.研究了纳秒脉冲下固体材料损伤的电离机理.波长为1064 nm,光强不很强的纳秒脉冲作用时,光学击穿中等离子体的形成主要是雪崩电离的结果,利用雪崩击穿的阈值理论得到了等离子体形成模型,求出了等离子体形成范围,理论模型结果与实验结果基本相符.最后基于激光支持的爆轰波模型,利用流体力学理论求出了等离子体的温度、速度、压强等特征参数,并分析了微通道的特点.高温高压的等离子体烧蚀出石英微通道,等离子通过后,在冲击波压力作用下微通道内壁熔化的石英凝固形成固化层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦水介	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	56	190	6.0	11.0
2	张欣	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	48	197	8.0	11.0
3	李世雄	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	7	18	3.0	4.0
4	白忠臣	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	42	37	3.0	4.0
5	黄政	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	15	34	4.0	4.0
6	毛文雪	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	2	5	1.0	2.0