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有关MEMS结构运动过程中产生和辐射电磁波的研究
有关MEMS结构运动过程中产生和辐射电磁波的研究
作者:
张晓艳
韩磊
黄庆安
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
MEMS
电磁波
可动结构
静电荷
摘要:
本文对典型的MEMS结构在运动过程中产生和辐射电磁波的机理以及产生的效应进行了研究.基于对MEMS结构的机械、电与电磁的耦合机制的研究,分析了MEMS结构运动过程中产生电磁波的机理.MEMS结构的相对运动以及基板上所携带电荷的运动都可以产生电磁波.在距离电磁波源1 cm处,MEMS结构辐射出的电磁波的频率为100 kHz;当MEMS结构间距为1.5 μm,辐射出的电磁波的电场强度为0.45 V/m.产生的电磁波的频率与幅度受到距离,结构运动的频率以及具体形状的影响.本文还考虑了辐射出的电磁波对同一个芯片上其他器件的影响.
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文献信息
篇名
有关MEMS结构运动过程中产生和辐射电磁波的研究
来源期刊
传感技术学报
学科
工学
关键词
MEMS
电磁波
可动结构
静电荷
年,卷(期)
2012,(7)
所属期刊栏目
物理类传感器
研究方向
页码范围
891-896
页数
分类号
TN43
字数
481字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2012.07.005
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS
电磁波
可动结构
静电荷
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
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