硅微阵列陀螺仪的仿真、设计与测试

• 作者: 张印强 李婧 杨波 王寿荣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微阵列陀螺仪 结构设计 ANSYS仿真 扫频实验
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 29-32
• 分类号: TP212
• 字数: 2340字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.01.006

摘要

为了提高硅微机械陀螺仪的精度和工作可靠性,提出了一种新的硅微阵列陀螺仪结构设计方案.该陀螺仪由4个质量块构成,采用半解耦结构设计,结构完全对称,驱动模态和检测模态的频率匹配性好.分析了硅微阵列陀螺仪的结构和工作原理,并利用ANSYS有限元软件进行了结构仿真,通过调节结构参数实现了各驱动模态与敏感模态固有频率的匹配.对阵列陀螺仪样品进行了测试,实验测试结果表明,驱动模态存在3个振型,同频反相振动的幅值最大,与仿真结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	94	1158	19.0	28.0
2	杨波	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	74	553	13.0	19.0
3	张印强	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	5	44	4.0	5.0
5	李婧	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	3	21	2.0	3.0