激光干涉光刻技术应用概述

• 作者: 杨海峰 贺海东
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 光刻 纳米结构
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TB43|TQ591
• 字数: 2201字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2012.06.002

摘要

激光干涉光刻作为一种新兴的光刻技术,具有设备结构简单、价格低廉、高效率、高分辨率和大视场曝光等特点.介绍通过激光干涉光刻产生的—维光栅结构、二维网格结构以及二维点阵结构在生物传感、太阳能电池和光子晶体等领域的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨海峰	中国矿业大学机电工程学院	28	141	6.0	11.0
2	贺海东	中国矿业大学机电工程学院	2	11	2.0	2.0