1000线／毫米软X射线自支撑闪耀透射光栅的设计与制作

• 作者: 付绍军 刘正坤 刘颖 徐向东 邱克强 陈勇
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自支撑透射光栅 闪耀效应 全息光刻 各向异性腐蚀
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 148-154
• 分类号: TS251.7
• 语种: 中文

摘要

基于标量衍射理论讨论了软x射线自支撑闪耀透射光栅的特性并设计了光栅的结构参数．采用全息光刻和湿法腐蚀技术，成功制作了周期1μm、占空比0．1—0．2、高宽比约100、栅线厚度10μm、有效面积比为65％的自支撑闪耀透射光栅．单元尺寸为15minx15mm的硅绝缘体上含有四个5mmX5mm的自支撑闪耀透射光栅窗口．在国家同步辐射实验室检测了该光栅在5—50nm波长范围内的衍射效率．波长扫描测量结果表明，闪耀效应明显地发生在类似镜面的光栅侧壁镜面反射方向上，闪耀级次位置及其特征与标量理论预测的一致．衍射效率的实测结果基本与理论模拟符合，只是因光栅结构上的缺陷致使衍射效率偏低，峰值只有理论值的38％-49％．实验结果证明了闪耀透射光栅的概念和湿法制作工艺的可行性．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	252	4136	36.0	53.0
2	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
3	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
4	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
5	邱克强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	25	135	6.0	10.0
6	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0