衬底温度对CdTe/ZnTe多层薄膜制备的影响

• 作者: 冯良桓 唐萍 张静全 曾广根 李卫 武莉莉 王文武 程四兴 蔡亚平 黎兵
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射法 CdTe/ZnTe 太阳电池 衬底温度
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 188-192
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2012.01.031

摘要

采用射频磁控溅射法制备了CdTe/ZnTe多层薄膜,并在制备单层CdTe薄膜和ZnTe薄膜的基础上,研究了衬底温度对CdTe/ZnTe多层薄膜性质的影响；通过XRD和透过谱、吸收谱的分析,对其结构进行了研究.结果表明在185℃下制备的CdTe/ZnTe多层膜中,CdTe和ZnTe均沿(111)晶面择优取向生长,尤其是ZnTe沿(111)晶面择优取向明显,衍射强度极大.通过比较不同衬底温度,发现185℃生长的样品衍射峰强度最高,成膜质量较好；通过吸收谱图分析,185℃下沉积的样品对光有较好的吸收性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黎兵	四川大学材料学院	44	264	8.0	15.0
2	冯良桓	四川大学材料学院	78	424	10.0	17.0
3	蔡亚平	四川大学材料学院	33	302	10.0	16.0
4	王文武	四川大学材料学院	27	9	2.0	2.0
5	张静全	四川大学材料学院	69	285	8.0	15.0
6	李卫	四川大学材料学院	56	193	7.0	12.0
7	程四兴	四川大学材料学院	1	0	0.0	0.0
8	唐萍	四川大学材料学院	6	9	2.0	2.0
9	武莉莉	四川大学材料学院	56	217	8.0	13.0
10	曾广根	四川大学材料学院	21	17	2.0	3.0