石墨烯的量子电容

• 作者: 张志勇 彭练矛 徐慧龙 邱晨光
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 石墨烯 量子电容 顶栅场效应晶体管 纵向缩减 Y2O3
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 前沿进展
• 页码范围: 789-795
• 分类号: O413
• 字数: 4337字
• 语种: 中文

摘要

量子电容在半导体纳米材料和器件中是一个日趋重要的参数，测量和提取石墨烯的量子电容，不仅可以得到石墨烯的重要物理性质，而且对石墨烯晶体管的尺寸缩减行为具有重要指导意义．文章中采用简单工艺在石墨烯上制备出均匀超薄的高质量Y2O3栅介质，其等效栅氧厚度（EOT）可缩减至1．5nm，通过控制栅介质厚度的变化，精确测量并提取了石墨烯量子电容，其电容值在远离狄拉克点时与理论计算相符合；在此基础上，文章作者提出了基于电势涨落的量子电容微观模型，通过采用单一参数——电势涨落8V，可以定量地描述Dirac点附近的量子电容行为，从而在全能量范围内实现对石墨烯量子电容测量值的完美拟合，并得到了石墨烯的相关重要参数．进而，作者从量子电容的角度，探索了石墨烯晶体管的性能极限，并比较其相对于Ⅲ-Ⅴ族场效应晶体管的潜在优势．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭练矛	北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室北京大学电子学系	22	71	4.0	7.0
2	张志勇	北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室北京大学电子学系	9	29	3.0	5.0
3	邱晨光	北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室北京大学电子学系	1	6	1.0	1.0
4	徐慧龙	北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室北京大学电子学系	2	6	1.0	2.0