Al2O3／Au／Al2O3层状阻氚薄膜

• 作者: 何业东 唐涛 曹江利 汤波楷 饶咏初
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金 氘渗透 阻氚涂层 渗透率减低因子
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 132-136
• 分类号: TB333
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法在316L不锈钢基体上分别沉积单层Al2O3，膜、单层Au膜以及Al2O3／Au／Al2O3层状薄膜。采用气相渗透法在500℃，氘分压为0．06MPa条件下测试了薄膜的阻氘性能。结果表明，3种薄膜氘渗透后，薄膜的形貌良好，无开裂、无剥落的现象，氘渗透率减低因子均比316L不锈钢基材增大一个数量级以上，阻氘效能按单层Al2O3，膜、单层Au膜以及Al2O3／Au／Al2O3层状薄膜依次递升。Al2O3／Au／Al2O3层状薄膜的优异阻氘效能可归因于，延性的Au夹层使层状薄膜的力学性能得到显著提高；Al2O3层能阻止Au与基体间互扩散，使Au能充分发挥阻氘效能。本研究表明，由贵金属与陶瓷阻氚材料构成的层状薄膜是发展阻氚涂层的新途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何业东	北京科技大学新材料技术研究院	40	202	9.0	10.0
2	曹江利	北京科技大学新材料技术研究院	13	38	4.0	6.0
3	唐涛		10	25	3.0	4.0
4	饶咏初		7	12	2.0	3.0
5	汤波楷	北京科技大学新材料技术研究院	1	1	1.0	1.0