全相位谱分析在自混合干涉位移测量中的应用

• 作者: 寇科 李醒飞 杨颖 王错
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自混合干涉 全相位谱分析 位移测量 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1740-1746
• 分类号: TH744.3|TH822
• 字数: 2383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122008.1740

摘要

提出基于全相位谱分析的自混合干涉信号处理方法,用于减小激光自混合干涉位移测量的误差.首先,基于三镜法布里-珀罗腔模型介绍了自混合干涉系统的数学模型,分析了自混合干涉信号的产生机理和特性.然后,研究了弱反馈条件下自混合干涉位移测量方法,采用全相位谱分析算法进行相位测量,重构外部反射体位移曲线；讨论了信号处理算法原理并进行了算法仿真.最后,进行自混合干涉位移测量实验,并给出压电陶瓷位移测量实验结果.结果表明,全相位谱分析算法可将自混合干涉位移测量误差减小到4.4 nm;应用全相位谱分析算法分析自混合干涉信号,可在不增加外部光学元件的前提下将位移测量误差减小到纳米量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李醒飞	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	147	1425	20.0	30.0
2	杨颖	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	7	50	4.0	7.0
3	王错	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	21	3.0	4.0
4	寇科	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	14	2.0	3.0