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Fabrication and characteristics of ZnO thin films deposited by RF sputtering on plastic substrates for flexible display
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摘要：
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RF溅射ZnO薄膜工艺与结构研究
无机非金属材料
ZnO薄膜
RF磁控溅射
氧分压
择优取向
Supreme与Flexible喉罩通气罩内压对气道漏气压的影响
喉罩
Supreme
Flexible
通气罩内压
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
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共引文献 (0)
参考文献 (0)
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2012(0)
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研究主题发展历程
节点文献
ZnO薄膜
柔性显示器
塑料基板
溅射制备
溅射沉积
射频
特性
溅射功率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国科学
主办单位：
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
CN 11-1789/N
开本：
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