金属电极的腐蚀特性研究

• 作者: 席仕伟 张照云 彭勃 施志贵 高杨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械系统 SOI MEMS 湿法腐蚀 金属电极
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 326-328
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2889字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.03.009

摘要

对金属电极的腐蚀特性进行了研究.实验中设计了多种不同的金属电极,通过改变电极材料、电极厚度、电极层数、腐蚀液成分及温度等条件,研究了金属电极的腐蚀特性.通过研究发现,电极的腐蚀特性跟电极材料、电极厚度、电极层数、电极的缺陷及应力、腐蚀液成分及温度等条件有关.最后设计了一种打底层金属材料为Tiw,层厚20 nm,上层金属为Au,层厚度为200 nm的金属电极,在覆盖一层光刻胶,并对光刻胶进行后烘坚膜的情况下,在常温下,用HF溶液腐蚀1h后,SOIMEMS微结构完全释放,金属电极还十分完好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	彭勃	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	115	6.0	10.0
3	席仕伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	59	4.0	7.0
4	施志贵	中国工程物理研究院电子工程研究所	20	121	7.0	10.0
5	张照云	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	18	2.0	3.0