篇名 | A Supersonic Plasma Jet Source for Controlled and Efficient Thin Film Deposition | ||
来源期刊 | 现代物理(英文) | 学科 | 化学 |
关键词 | PLASMA SOURCES ICP Discharges PECVD PLASMA DIAGNOSTICS Titanium Dioxide Thin Film DEPOSITION | ||
年,卷(期) | xdwlyw_2012,(10) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 1626-1638 | |
页数 | 13页 | 分类号 | O6 |
字数 | 语种 | ||
DOI |