纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定

• 作者: 李瑞君 王志伟 王晨晨 钱剑钊 黄强先 龚伟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 模拟探头 DVD激光读取头 标定 纳米三坐标测量机
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 604-608
• 分类号: TP216
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.05.010

摘要

三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数.标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头的的金属丝悬浮机构,二维角度传感器,小型迈克尔逊干涉仪组成.通过空间坐标转换,矩阵计算模型和标定实验的建立,重点描述了一种特定的标定方法与标定了模型的未知参数.实验结果表明三坐标测量机在x、y、z三方向上测量的标定值与实际值的位移误差的标准差小于30 nm,证明该方法具有一定的可行性与有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0
2	李瑞君	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	26	89	6.0	8.0
6	钱剑钊	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	42	4.0	4.0
7	龚伟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	20	3.0	4.0
8	王志伟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	5	1.0	2.0
9	王晨晨	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	11	101	4.0	10.0