SR-XRD和EXAFS研究Mn掺杂ZnO薄膜的微观结构

• 作者: 张斌 承焕生 文闻 施立群 李敏 杨铁莹 王建中 胡凤春
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 同步辐射X射线衍射 扩展X射线吸收精细结构谱 Mn掺杂ZnO薄膜 微观结构
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 同步辐射技术及应用
• 页码范围: 321-325
• 分类号: O722|O472
• 字数: 2986字
• 语种: 中文

摘要

用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上制备了一组不同衬底温度的Mn掺杂ZnO薄膜.质子激发X射线荧光(PIXE)测量表明,薄膜中仅有含量为5 at.％的Mn,未见其它磁性杂质元素(如Fe、Co、Ni等).同步辐射X射线衍射(SR-XRD)表明,这些Mn掺杂ZnO薄膜具有纤锌矿ZnO结构.SR-XRD和扩展X射线吸收精细结构谱(EXAFS)分析显示,薄膜中未发现Mn团簇或MnO、MnO2、Mn2O3、Mn3O4等二次相,Mn原子是通过替代Zn原子而进入了ZnO晶格.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	承焕生	复旦大学现代物理研究所	42	485	14.0	20.0
2	王建中	复旦大学现代物理研究所	42	173	7.0	11.0
3	张斌	复旦大学现代物理研究所	69	302	9.0	14.0
4	施立群	复旦大学现代物理研究所	21	73	5.0	8.0
5	李敏	复旦大学现代物理研究所	93	463	11.0	17.0
6	杨铁莹	中国科学院上海应用物理研究所	5	16	3.0	4.0
7	文闻	中国科学院上海应用物理研究所	4	7	2.0	2.0
8	胡凤春	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	1	4	1.0	1.0