微喷口阵列的TMAH“两步法”制备工艺

• 作者: 余协正 叶迎华 沈瑞琪
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微喷口阵列 各向异性刻蚀 TMAH 过硫酸铵 粗糙度
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 184-187
• 分类号: TN304.052
• 字数: 1643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2012.02.008

摘要

为了高效经济地实现单晶硅喷口阵列的批量加工,通过大量实验,研究了TMAH溶液在不同浓度、温度、刻蚀时间以及添加剂过硫酸铵的添加量和添加方式等对单晶硅刻蚀结果的影响规律,得到了“两步法”的优化刻蚀工艺:第1步在低浓度、高温度下进行高速刻蚀；第2步降低刻蚀温度,同时添加过硫酸铵,进行表面修饰,降低粗糙度.该工艺具有操作简便、经济高效的特点,结合该工艺已成功制备出高质量的固体化学微推进器喷口阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶迎华	南京理工大学应用化学系	123	751	15.0	19.0
2	沈瑞琪	南京理工大学应用化学系	171	1017	16.0	20.0
3	余协正	南京理工大学应用化学系	4	20	3.0	4.0