铀表面非平衡磁控溅射离子镀Ti基薄膜的组织结构与腐蚀性能

• 作者: 刘天伟 吴艳萍 唐凯 朱生发 江帆 魏强 黄河
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 贫铀 非平衡磁控溅射 多层膜 腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 240-243
• 分类号: TG174
• 字数: 2413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.03.12

摘要

金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀.本文采用磁过滤多弧离子镀在金属铀表面制备Ti过渡层,然后采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了Ti、TiN单层膜及Ti/TN多层薄膜,以期改善基体的抗腐蚀性能.采用X射线衍射、极化曲线、盐雾腐蚀试验对镀层的结构、表面形貌、抗腐蚀性能进行了分析.结果表明,采用磁控溅射在金属铀表面制备一层Ti/TiN多层膜后,多层膜界面较清晰,大量的界面可终止柱状晶的生长,细化晶粒,提高镀层的致密性,有效地改善了基体的抗腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘天伟		9	42	4.0	6.0
2	朱生发		14	41	4.0	4.0
3	黄河		6	14	3.0	3.0
4	江帆		6	22	3.0	4.0
5	唐凯		9	37	4.0	5.0
6	魏强		10	33	4.0	5.0
7	吴艳萍		10	29	3.0	4.0