半导体设备AMAT P5000死机故障分析及处理

• 作者: 郭晶磊 顾吉
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: P5000 死机 代码 VME 接地
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 45-48
• 分类号: TN305
• 字数: 2461字
• 语种: 中文

摘要

著名半导体设备厂商美国应用材料公司生产了半导体制程设备P5000,该设备在实际使用过程中经常出现各种类型的死机现象.文章重点介绍了通过查询P5000设备的死机报告界面,对该界面进行分析,找出其中最关键的死机代码,并对常见的的死机代码进行原因分析,找出相应的死机原因.针对不同的死机原因提出相对应的可行性解决方案,最终快速、正确地解决常见的死机问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭晶磊		3	1	1.0	1.0
2	顾吉		6	3	1.0	1.0