基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤超声水听器

• 作者: 张洁 曾德平 王代华 王帅杰 贾平岗 赵纯亮 马兹国
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤传感器 法-珀干涉 Parylene膜 水听器 高强度聚焦超声
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 声光及光纤技术
• 页码范围: 355-358
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2012.03.009

摘要

针对高强度聚焦超声(HIFU)声场测量,提出并研究了一种基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器.采用真空气相沉积法在光纤的端面蒸镀Parylene膜构成光纤水听器的法-珀腔,分析了光纤水听器的传感原理和解调原理,建立了HIFU声场检测的实验系统.实验结果表明,基于Parylene膜的法-珀干涉型光纤水听器能准确传感超声信号,其输出与换能器驱动电压的非线性度小于0.01,且与聚偏氟乙烯(PVDF)针式水听器的测量结果基本一致.