Mo含量对TiMoN薄膜微观组织和摩擦磨损性能的影响

• 作者: 喻利花 许俊华 鞠洪博
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射 TiMoN薄膜 微观组织 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 页码范围: 1132-1138
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1037.2011.00751

摘要

采用射频磁控溅射制备不同Mo含量的TiMoN薄膜.利用XRD,SEM,EDS,纳米压痕仪和高温摩擦磨损实验对薄膜的相结构,形貌,成分,力学性能和摩擦磨损性能进行分析.结果表明,TiMoN薄膜为fcc结构；当Mo占金属元素总量的比例X ＜68.37％(原子分数)时,薄膜主要为Mo在TiN中的置换固溶体；当X＞68.37％时,薄膜主要为Ti在MO2N中的置换固溶体；随Mo含量的增高,择优取向发生改变,晶粒尺寸逐渐减小,薄膜的显微硬度显著升高,最高达36.37 GPa,摩擦系数逐渐降低,并在X达到68.37％后稳定在0.4左右；不同Mo含量的TiMoN薄膜的磨损率在10-8-10-6 mm2/N之间,优于TiN薄膜.基于晶体化学理论,对TiMoN薄膜低摩擦系数的原因进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华		60	269	9.0	13.0
2	喻利花		58	246	8.0	12.0
3	鞠洪博		17	35	4.0	5.0