大口径SiC轻量化主镜热变形的定标

• 作者: 吴小霞 明名 王富国 王鸣浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径主镜 SiC轻量化主镜 热变形 定标 准Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1243-1249
• 分类号: TH751
• 字数: 2854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122006.1243

摘要

为了准确地预算出大口径SiC轻量化主镜镜面的温度变形,研究了不同热模式下SiC轻量化主镜镜面面形的定标和计算方法.将SiC轻量化主镜上的温度传感器在轴向厚度方向上进行分层处理,对每层上的温度分布采用准Zernike多项式进行拟合.以4 m SiC轻量化主镜为例,采用有限元法分别对准Zernike前9项温度模式(18种温度场)下的镜面变形进行定标计算,得出各种单位载荷作用下轻量化主镜镜面的最大变形以及面形误差PV值和RMS值.计算结果表明:准Zernike第一项模式、单位载荷作用下镜面变形最大,其面形误差RMS为278.3 nm.采用最小二乘法对各种温差场下的镜面误差进行准Zernike多项式拟合,获得了准Zernike像差项的系数.采用最小二乘法拟合计算出镜面变形误差产生的准Zernike像差项的系数,结果表明,18种温度场下产生的像差形式主要有:平移、倾斜、离焦、彗差和像散.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	明名	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	281	9.0	15.0
2	王富国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	52	540	15.0	21.0
3	吴小霞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	55	635	16.0	23.0
4	王鸣浩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	156	8.0	12.0