基于差异进化算法的椭偏测量数据反演

• 作者: 张建科 王党社 王海娇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 差异进化算法 椭偏法 光学薄膜 反演
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 263-267
• 分类号: O484.41
• 字数: 4004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.03.17

摘要

为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法—差异进化算法处理实验数据；以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理,实验结果表明,三个薄膜参数(折射率n,消光系数k和薄膜厚度d)是可以同时获得的,而且在未知参数确切范围情况下,较大范围内进行搜索仍然能保证快速收敛到最优解.文中算法和粒子群算法、遗传算法以及利用椭偏仪数据处理软件得出的结果相比较,表明该算法在椭偏测量数据反演中是一种可行的智能优化算法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建科	西安邮电学院应用数理系	37	335	10.0	17.0
2	王党社	西安工业大学理学院	17	72	5.0	7.0
3	王海娇	西安工业大学理学院	1	3	1.0	1.0