化学染色法在pn结分析中的应用研究

• 作者: 金波 马万里
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: pn结 化学染色 p区 n区 剖面形貌
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与测试技术
• 页码范围: 78-82
• 分类号: TN307
• 字数: 2926字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2012.01.017

摘要

化学染色法是pn结分析中较普遍的方法,不同的化学染色法所显现出pn结的剖面形貌会受到化学试剂、pn结固有性质、染色工艺参数的影响.研究了常用的铬酸溶液染色法、醋酸溶液染色法、BOE溶液染色法和硫酸铜溶液染色法之间的差异.在一定范围内,铬酸溶液染色法、醋酸溶液染色法、BOE溶液染色法适合染出p区,硫酸铜溶液染色法适合染出n区,铬酸溶液染色法可以染出较小尺寸的pn结.染色时间的增加将会使所染pn结形貌变大,而染色溶液温度的升高对所染pn结形貌影响不大,但会使部分在常温下不能染出的pn结染出,BOE溶液染色法所得出的pn结较接近真实形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马万里		9	13	2.0	3.0
2	金波		4	8	2.0	2.0