退火氛围对掺杂ZnO薄膜磁性的影响

• 作者: 孙会元 岂云开 李志文 顾建军
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 稀磁半导体 铁磁性 退火氛围
• 年，卷（期）: 2012,（13）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 444-448
• 分类号: TG139.7
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控反应共溅法制备了非磁性元素A1和磁性元素Co掺杂的ZnO薄膜,样品原位真空退火后再空气退火处理.利用X射线衍射仪（XRD）和物理性能测量仪（PPMS）对薄膜的结构和磁性进行了表征.XRD和PPMS结果表明,不同的退火氛围对掺杂薄膜的结构和磁性有着很大的影响.真空退火的Al掺杂ZnO薄膜没有观察到铁磁性,而空气退火的样品却显示出明显的室温铁磁性,铁磁性的来源与空气退火后导致Al和ZnO基体间电荷转移增强有关.而对于Co掺杂ZnO薄膜,真空退火后再空气退火,室温铁磁性明显减弱.其磁性变化与Co离子和ZnO基体间电荷转移导致磁性增强和间隙Co原子被氧化导致磁性减弱有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙会元		1	2	1.0	1.0