脉冲激光沉积法制备立方焦绿石结构的Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜

• 作者: 张效华 曾庆明 杨丰 胡跃辉 范跃农 辛凤 陈义川
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜 脉冲激光沉积 微结构 介电性能
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 232-235
• 分类号: TB303
• 字数: 2900字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.03.10

摘要

采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.5O7(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片制备立方BZN薄膜.研究了随衬底温度的变化,薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的差异.结果表明当衬底温度在550～ 650℃时,薄膜具有纯的立方BZN结构,并且在600℃时薄膜的晶粒发育比较完整,此时薄膜具有较高的介电常数和较低的损耗.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效华	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	25	69	5.0	7.0
2	辛凤	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	26	53	4.0	6.0
3	胡跃辉	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	54	127	6.0	8.0
4	杨丰	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	13	32	4.0	5.0
5	陈义川	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	38	96	6.0	7.0
6	曾庆明	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	8	22	3.0	4.0
7	范跃农	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	25	112	6.0	9.0